В Зеленограде разработали оборудование для выпуска 65-нм микрочипов


Фото: Минпромторг РоссииСпециалисты НИИМЭ и НИИТМ, которые находятся в подмосковном Зеленограде, в интересах Минпромторга завершили разработку российских установок с плазмохимическим травлением и осаждением, рассчитанных на выпуск полупроводниковой продукции по 65-нанометровым технологическим нормам.